半導体プロセス教本第6版/Semiconductor Process Handbook, 6th Edition

社内の若手教育、新人研修に最適の半導体プロセス教本

最先端半導体プロセス技術を分かりやすく解説。拡散・注入、リソグラフィ、エッチング、多層配線の各技術をカバーしています。