SEMI Software Standard GEM300 Seminar (Japanese only) / SEMI ソフトウエアスタンダードGEM300セミナー

コース内容 

300mm半導体製造装置では半導体製造工場において、キャリア（FOUP）、ロードポート、自動搬送（AMHS）などのシステムが標準化されました。このシステムの一環として、GEM300は通信により半導体製造装置を自動運転するための制御と管理の標準仕様を定義しています。 
このコースでは、GEM300に含まれるSEMI ソフトウェア スタンダードを体系的にわかりやすく解説します。講師には半導体製造装置メーカーの技術者をお招きし、豊富な実務経験に基づいた説明を行います。講師は、SEMI スタンダード 標準化委員会のメンバーでもあり、日々スタンダードの開発にも携わっています。 

 

目的 

GEM300に含まれる以下のSEMI ソフトウェア スタンダードを体系的に学ぶ。 

• キャリア管理（CMS）：SEMI E87 
• プロセス管理（PJM）：SEMI E40 
• コントロールジョブ管理（CJM）：SEMI E94 
• 基板トラッキング（STS）：SEMI E90 
• オブジェクトサービス（OSS）：SEMI E39 

 

講師 

• 横河デジタル（株）        八巻 貴夫 氏
• （株）日立ハイテク        豊島 優子 氏
• 日本エー・エス・エム（株）    高崎 義久 氏

 

視聴時間 

約8時間 

 

対象者  

半導体製造 CIM（Computer Integrated Manufacturing）システム、装置のコンピュータ・コントロールの技術者、関連のソフトウェア開発者、関連技術の企画者、管理者 

 

 

必要な知識

SECS/GEMの基礎知識 

 

視聴に関する注意事項 

• 本セミナーはSEMIスタンダード解説セミナーです。そのため、関連するスタンダードをお持ちでない方は別売りのスタンダードの購入をお勧めします。ご希望の際はこちらからお求めください。 
• このコースの受講期間は2か月間です。 
• SEMI E39-1218(Reapproved 0124),SEMI E40-1218, SEMI E87-0921,SEMI E90-0921,SEMI E94-0314(Reapproved0819)が解説の対象となります。最新版 SEMI E87-1023(2023年10月出版）はこちらよりお求めください。最新版を反映した本コース改訂版は今後作成を計画しております。 
• 本動画は2022年6月に作成した資料を使用して6月に収録、2022年8月に初回配信されました。（資料のみ2023年3月改訂） 
• このセミナーでは、標準化された文書の解説を行います。個別の装置の仕様など実装に関わる内容は、標準化活動の範囲外であり、当セミナーでは解説いたしませんので、ご了承ください。 
• コース内容に関するご質問の際は、コース内アンケートに必要事項ご記入の上japansemiu@semi.orgまでご連絡ください。 
• テキスト内にSEMI E5などのスタンダード本体は含まれません。 
• 本セミナーは2022年、2023年に配信したセミナーと同内容になります。