SEMI Software Standard SECS/GEM Seminar (Japanese Only)/ SEMI ソフトウエアスタンダード SECS/GEMセミナー
コース内容
SECS(SEMI Equipment Communication Standard) およびGEM (Generic Equipment Model)は半導体製造工場での装置運用の自動化、または装置からのデータを収集するための基本的な標準通信インターフェースを規定しています。このコースでは、SECSとGEMを実際に適用していただけるようにするために、SEMIソフトウエアスタンダードを体系的にわかりやすく解説します。
講師には半導体製造装置メーカーの技術者をお招きし、豊富な実務経験に基づいた説明を行います。講師は、SEMI スタンダード 標準化委員会のメンバーでもあり、日々スタンダードの開発にも携わっています。
目的
SECSとGEMを実際に適用するため、以下のSEMI ソフトウェア スタンダードを体系的に学ぶ。
- メッセージ伝送規約 HSMS: SEMI E37/SEMI E37.1
- メッセージ内容規約 SECS-Ⅱ: SEMI E5
- GEM(SEMI E30) 規約の概要
- GEM の基本要求
- GEM 追加性能
講師
- 東京エレクトロン(株) 望月 唯史 氏
- (株)日立ハイテク 豊島 優子 氏
- 横河デジタル(株) 八巻 貴夫 氏
- 横河デジタル(株) 宮本 幹 氏
動画視聴時間
約8時間
対象者
半導体製造 CIM(Computer Integrated Manufacturing)システム、装置のコンピュータ・コントロールの技術者、関連のソフトウェア開発者、関連技術の企画者、管理者
対象範囲
以下の工場システム・アプリケーション図のGEM、SECS-I、SECS-II、HSMSの部分が対象です。
工場システム・アプリケーション
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GEM300
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EPT
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Data Collection Recipe Mgmt. State Mgmt.
Remote Control |
Carrier Mgmt.
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Control Job Mgmt.
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Process Job Mgmt.
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Substrate Tracking
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GEM
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OSS
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SECS-II
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SECS-I
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HSMS
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RS232C | TCP/IP |
視聴に関する注意事項
- 本セミナーはSEMIスタンダード解説セミナーです。そのため、関連するスタンダードをお持ちでない方は別売りのスタンダードの購入をお勧めします。ご希望の際はこちらからお求めください。
- このコースの受講期間は2か月間です。
- SEMI E5-0323(2023年3月出版) SEMI E30-0423(2023年4月出版),SEMI E37-0220(2020年2月出版)が解説の対象となります。最新版SEMI E5-0224, SEMI E30-0224はこちらよりお求めください。最新版を反映した改訂版に関しては、今後作成を計画しております。
- 本動画は2022年6月に作成した資料を使用して6月に収録、2022年8月に初回配信されました。(資料・一部動画を2023年4月改訂)
- このセミナーでは、標準化された文書の解説を行います。個別の装置の仕様など実装に関わる内容は、標準化活動の範囲外であり、当セミナーでは解説いたしませんので、ご了承ください。
- コース内容に関するご質問の際は、コース内アンケートに必要事項ご記入の上japansemiu@semi.orgまでご連絡ください。
- テキスト内にSEMI E5などのスタンダード本体は含まれません。
- 本セミナーは2023年に配信したセミナーと同内容になります。